洁净厂房的建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性。主休结构宜采用大空间及大跨度柱网，不宜采用内墙承重体系。洁净厂房围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少产尘等要求。洁净厂房主体结构的耐久性应与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。送、回风管和其他管线暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等。穿越楼层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井，其形式、尺寸和构造应满足风道、管线的安装、检修和防火要求。对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其平面布局和构造处理，应避免人流、物流运输及防火方面对洁净生产带来不利的影响。

        洁净厂房的剖面形式通常取决于：①生产设备及操作需要的基本空间尺寸；②净化气流组织的形式；③净化技术和辅助设施的布局；④管线走向及隐蔽方式。

        洁净室的高度应以净高控制，净高以100mm为基本模数。在满足生产、气流组织及人的生理要求前提下应尽量降低净高，以减少换气量、降低能耗及投资，有利于提高净化效果。当某些设备较高时可局部提高净高。但层高不宜太紧。上部技术夹层宜用轻质有改变空间高度可能的软吊顶。下部设回风格栅地板、回风地沟或回风夹道等。

        技术夹层和技术夹道，应满足各种管线的安装和维修，面积较大的技术夹层宜设消防设施。